Regensburg 2002 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 6: Strukturbildung und -chararkterisierung II

DS 6.4: Talk

Monday, March 11, 2002, 12:00–12:15, HS 32

Untersuchungen zur Lagengüte an TMR-Schichtsystemen — •Michael Binder und Josef Zweck — Fakultät Physik, Universität Regensburg, 93040 Regensburg, Germany

Ein Ziel momentaner Forschung ist es, magnetische und somit nicht-flüchtige Speicher für Computer zu entwickeln. Dafür werden unter anderem TMR-Elemente hergestellt, deren Funktion stark von den Eigenschaften der einzelnen Schichten (insbesondere der Tunnelbarriere) abhängt. Für die Charakterisierung der einzelnen Schichten bietet sich die hochauflösende Transmissionselektronenmikroskopie an. Durch digitale Bildauswertung erhält man objektive Informationen über Schichtdicken, Lagenverläufe, Welligkeiten und Defekte in den Schichtsystemen. Hierzu wurde ein Programm erstellt, das es ermöglicht, große Bildbereiche schnell bezüglich Schichtdicken und Lagenrauigkeiten auszuwerten. Das Funktionsprinzip beruht auf einer Korrelation zwischen dem auszuwertenden Bild und einer dem Problem angepassten Suchmaske. Ein besonderer Vorteil dieser Technik ist, dass objektive Daten erhalten werden, die sich auch zum Vergleich unterschiedlicher Schichten eignen.