Regensburg 2002 – scientific programme

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DY: Dynamik und Statistische Physik

DY 46: Poster

DY 46.66: Poster

Thursday, March 14, 2002, 15:30–18:00, D

Instabilitäten beim Wachstum aufgedampfter Schichten — •Martin Raible, Stefan J. Linz und Peter Hänggi — Theoretische Physik I, Institut für Physik, Universität Augsburg, D-86135 Augsburg

Beim Wachstum aufgedampfter Schichten treten unter geeigneten experimentellen Randbedingungen Wachstumsinstabilitäten auf, die mit dem glättenden Effekt der Oberflächendiffusion konkurrieren. Dadurch können periodische Oberflächenstrukturen entstehen. Wir vergleichen eine solche Instabilität, die auf die endliche Größe der Atome zurückgeführt worden ist [1,2], mit einer anderen Instabilität, die als Effekt der Ablenkung der Teilchenbahnen durch zwischenatomare Anziehung kurz vor der Deposition vorgeschlagen wurde [3]. Wir zeigen, warum die Begründung der Instabilität durch den Atomgrößeneffekt physikalisch inkonsistent ist, während die Teilchenablenkung tatsächlich eine lineare Instabilität verursacht. Dies wird zusätzlich durch Vergleich mit experimentellen Daten an amorphen ZrAlCu-Aufdampfschichten bestätigt. Experimentelle Befunde, die bisher mit der auf die Atomgröße zurückgeführten Instabilität gedeutet wurden, wie die Vorhersage der Übergangstemperatur zu den porösen Schichtstrukturen bei tiefen Temperaturen [1,2], können alternativ auch mit dem Teilchenablenkungseffekt erklärt werden.

[1] A. Mazor, D.J. Srolovitz, P.S. Hagan und B.G. Bukiet, Phys. Rev. Lett. 60, 424 (1988)

[2] D.J. Srolovitz, A. Mazor und B.G. Bukiet, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 2371 (1988)

[3] N.J. Shevchik, J. Non-Cryst. Solids 12, 141 (1973)