Regensburg 2002 – scientific programme

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HL: Halbleiterphysik

HL 11: Poster 1

HL 11.12: Poster

Monday, March 11, 2002, 17:00–19:30, Poster A

Herstellung großflächiger Arrays von AlAs-AlGaAs-Mikroresonatoren — •Kai Petter, Tobias Kipp, Christian Schüller, Christian Heyn und Detlef Heitmann — Institut für Angewandte Physik und Zentrum für Mikrostrukturforschung, Universität Hamburg

Wir stellen zwei Arten vor, Arrays von lateral strukturierten AlAs-AlGaAs-Mikroresonatoren herzustellen.

Als Ausgangspunkt dient zum einen ein mittels Molekularstrahlepitaxie (MBE) gewachsener planarer AlAs-AlGaAs-λ-Mikroresonator. Mit Hilfe holographischer Lithographie und reaktivem Ionenätzen wird ein Lochgitter in den Resonator übertragen. Dadurch erhält man ein großflächiges Array von gekoppelten photonischen Quantenpunkten mit Perioden von wenigen Mikrometern.

Ebenfalls mit holographischer Lithographie lässt sich eine großflächige Punktarray-Lackmaske definieren, die wiederum mittels reaktivem Ionenätzen in eine MBE-gewachsene Probe übertragen wird. Das Schichtsystem der Probe wird so gewählt, dass ein weiterer, selektiver Ätzprozeß das Herstellen von Microdisks ermöglicht.

Die hergestellten Strukturen werden mit Photolumineszenz- und Reflexionsspektroskopie untersucht.

Diese Arbeit wird von der DFG im Rahmen des SFB 508 und der Graduiertenkollegs „Nanostrukturierte Festkörper“ und „Lokalisierte Atome“ gefördert.