Regensburg 2002 – scientific programme

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HL: Halbleiterphysik

HL 11: Poster 1

HL 11.16: Poster

Monday, March 11, 2002, 17:00–19:30, Poster A

Präparation und magnetische Charakterisierung von Ni₂MnIn-Filmen auf Silizium und Indiumarsenid — •Malte Kurfiß, Guido Meier, Toru Matsuyama und Rainer Anton — Universität Hamburg, Institut für Angewandte Physik und Zentrum für Mikrostrukturforschung, Jungiusstr. 11, 20355 Hamburg

Heusler-Legierungen sind für die Spintronik auf Halbleitern als Quelle spinpolarisierter Elektronen von großem Interesse. Dünne Schichten der ternären Legierung werden unter Ultrahochvakuumbedingungen durch simultanes Aufdampfen der Komponenten aus drei Quellen mit regulierten Flußraten hergestellt. Als Substrat verwenden wir sowohl Halbleitermaterialien als auch amorphen Kohlenstoff. Die Stöchiometrie wird mit Hilfe der Röntgenspektroskopie in Raster- und Transmissionselektronenmikroskopen (TEM) kontrolliert. Die Strukturierung der Proben geschieht durch Elektronenstrahllithograpie und einen "Lift-off" Prozeß. Auf diese Weise konnten Strukturen bis hinab in den Mikrometerbereich realisiert werden. Die auf amorphen Kohlenstoff aufgebrachten Schichten werden im TEM sowohl in Hell- als auch Dunkelfeldtechnik untersucht. Die magnetische Charakterisierung der auf Halbleitersubstraten strukturierten Dünnfilme wird in einem Magnetkraft-Mikroskop in externen Magnetfeldern bis zu 100 mT durchgeführt.