Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 11: Poster 1

HL 11.56: Poster

Montag, 11. März 2002, 17:00–19:30, Poster A

Lithographische Präparation von selbstaufrollenden InGaAs/GaAs Mikro- und Nanoröhrchen — •Stefan Mendach, Christian Heyn, Sandra Schnüll und Wolfgang Hansen — Institut für Angewandte Physik und Zentrum für Mikrostrukturforschung, Jungiusstraße 11, 20355 Hamburg

Wir untersuchen selbstaufrollende Mikro- und Nanoröhrchen auf InGaAs/GaAs-Basis. Dünne pseudomorphe InGaAs/GaAs Doppelschichten rollen sich beim Ablösen vom GaAs-Substrat durch selektives Ätzen einer Opferschicht aufgrund der Verspannung zu Röhrchen oder Helices auf. Mit Hilfe dieses von Prinz et al. 1998 erstmals am Beispiel des SiGe-Systems demonstrierten Mechanismus [V.Ya. Prinz et al., 24th Int. Conf. on Phys. of Sem., World Scientific, Singapore, 1998, pp. Th3-D5] können durch Variation der Schichtdicken und -zusammensetzungen Radien zwischen wenigen nm und einigen µm reproduzierbar eingestellt werden [O. G. Schmidt et al., Mat. Scie. and Eng., in press]. Das Funktionieren des Aufrollmechanismus hängt dabei wesentlich von der Qualität der Startkanten ab, von denen sich die Schichten zu Beginn des Aufrollens durch selektives Unterätzen ablösen. Bisher dienen als Startkanten mechanisch aufgebrachte Kratzer sowie Mikrorisse oder die Probenkanten. Als erster Schritt zur Kontaktierung der Röhrchen wird hier nun die lithographische Herstellung von Startkanten untersucht, mit dem Ziel, zusätzlich zum Durchmesser auch die Länge, die Orientierung und den Ort der Röhrchen auf der Probe zu kontrollieren.

Das Projekt wird durch die DFG via SFB 508 "Quantenmaterialien" gefördert.