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HL: Halbleiterphysik

HL 34: Bauelemente

HL 34.1: Vortrag

Donnerstag, 14. März 2002, 11:15–11:30, H13

Halbleiterübergitter-Oszillator mit einem durch Mikrostrukturierung hergestellten Hohlraumresonator zur Erzeugung von Mikrowellen oberhalb 100 GHz — •M. Häußler¹, J. Brandl¹, E. Schomburg¹, K. F. Renk¹, D. G. Pavelev² und Yu. Koschurinov² — ¹Institut für Angewandte Physik, Uni Regensburg — ²Nizhny Novgorod State University, Russland

Wir berichten über einen Halbleiterübergitter-Oszillator mit einem durch Mikrostrukturierung hergestellten Hohlraumresonator zur Erzeugung von Mikrowellen oberhalb 100 GHz. Der Oszillator bestand aus einem Hohlraumresonator, in den ein Übergitterbauelement eingebaut war, und einer koaxialen Zuleitung mit einem Tiefpassfilter zur Spannungsversorgung. Hohlraum und Filter waren aus zwei zueinander symmetrischen Hälften zusammengesetzt, die mithilfe der UV-Photolithographie aus einem Dickschicht-Photolack hergestellt und an den Innenwänden metallisiert waren. Laufende Dipoldomänen im Übergitter verursachten Stromoszillationen. Die Transitfrequenz der Domänen (130 GHz) war durch die Abmessungen des Resonators bestimmt. Unsere Untersuchungen deuten darauf hin, dass die Eigenschaften der Übergitter und die Strukturierungstechnik die Entwicklung von Oszillatoren für Submillimeterwellen erlauben.