Regensburg 2002 – scientific programme

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HL: Halbleiterphysik

HL 38: Poster 2

HL 38.67: Poster

Thursday, March 14, 2002, 16:30–19:00, Poster A

Gesputterte Permalloy-Schichten und Mikrostrukturen für spinelektronische Bauelemente — •Christian Pels, Marcus Steiner, Miriam Halverscheid, Toru Matsuyama, Guido Meier und Ulrich Merkt — Institut für Angewandte Physik und Zentrum für Mikrostrukturforschung, Jungiusstraße 11, 20355 Hamburg

Für hybride spinelektronische Bauelemente, wie den Datta-Das-Transistor [1], ist die Grenzflächentransparenz zwischen Ferromagnet (FM) und Halbleiter von zentraler Bedeutung. Zur Deposition des Ferromagneten Permalloy (Py: Ni₈₀Fe₂₀) verwenden wir einen Sputterprozess. Dieser ermöglicht es, die Probe unmittelbar vor dem Aufbringen der Schicht in situ durch ein Argon-RF-Plasma zu reinigen sowie, bei Verwendung von Heterostrukturen, in situ laterale Strukturen zu ätzen. Die Ätz- und Sputterparameter wurden hinsichtlich ihrer Auswirkung auf die Grenzflächenrauhigkeit und die Schichtqualität optimiert. Die ferromagnetischen Schichten werden durch MFM- sowie durch Widerstandsmessungen im Magnetfeld charakterisiert. Die MFM-Daten werden mit mikromagnetischen Simulationsrechnungen verglichen. Die optimierten ferromagnetischen Elektroden sollen in Py/InAs/Py-Hybridstrukturen sowie Py/Supraleiter-Kontakten bei tiefen Temperaturen untersucht werden. [1] S. Datta and B. Das, APL 56, 665 (1990)