Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 4: Photonische Kristalle

HL 4.6: Vortrag

Montag, 11. März 2002, 11:45–12:00, H15

Charakterisierung von Wellenleitern in photonischen Kristallen auf InP-Basis — •Jörg Zimmermann¹, Martin Kamp¹, Ruth Schwertberger¹, Johann-Peter Reithmaier¹, Alfred Forchel¹ und Reinhard März² — ¹Technische Physik, Universität Würzburg, Am Hubland, 97074 Würzburg — ²Infineon Technologies AG, CPR PH, 81730 München

Zweidimensionale photonische Kristalle besitzen großes Potential für den Einsatz in miniaturisierten integriert-optischen Wellenleiterstrukturen. Für den Wellenlängenbereich um 1550 nm sind dabei InP-basierte Strukturen, bei denen der vertikale Einschluß durch dielektrischen Kontrast und die horizontale Wellenführung durch den photonischen Kristall erreicht wird, von besonderem Interesse. Die photonischen Kristall-Strukturen werden durch hochauflösende Elektronenstrahllithographie definiert und durch reaktives Ionenätzen in die Halbleiterschichten übertragen, um ein hohes Aspektverhältnis zu erzielen. Die optische Charakterisierung erfolgt mit Hilfe eines durchstimmbaren Halbleiterlasers als externe Lichtquelle. Wellenleiter-Verluste von 1.6 dB/mm zeigen die sehr effiziente Transmission durch die untersuchten photonischen Kristall-Wellenleiter.