Regensburg 2002 – scientific programme

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MA: Magnetismus

MA 18: Magnetische Dünne Schichten II

MA 18.6: Talk

Thursday, March 14, 2002, 17:45–18:00, H22

Einfluß des Cr-Buffers auf die magnetische Textur hartmagnetischer NdFeB-Filme — •Ullrich Hannemann, Sebastian Fähler, Bernhard Holzapfel und Ludwig Schultz — IFW Dresden, Helmholtzstraße 20, 01069 Dresden und SFB 463, TP A4

Aus den bekannten sehr guten hartmagnetischen Eigenschaften der Nd₂Fe₁₄B-Phase und einer senkrechten Textur von NdFeB-Filme folgen eine Reihe von Anwendungsmöglichkeiten in der Mikroelektromechanik. Wesentlich dafür ist die Einstellung der Textur der Filme mit der leichten Achse senkrecht zur Filmebene. Dies kann durch geeignete Wahl eines Buffers und dessen Präparationsbedingungen, die das Wachstum und die Eigenschaften von NdFeB-Filmen entscheidend beeinflussen, erreicht werden. Dazu wurden mit Hilfe der gepulsten Laserdeposition ausgehend von Reinelementtargets Filme auf Saphir-Einkristallen mit einem Cr-Buffer deponiert.

Bei sofortiger Deposition des NdFeB-Films nach dem Cr-Buffer wachsen die Filme hochanisotrop mit der c-Achse senkrecht zur Filmebene. Das out-of-plane-Koerzitivfeld erreicht Werte über 1,1 T. Eine zwischenzeitliche Oxydation des Cr-Buffers resultiert in isotrop aufwachsenden Filmen mit einem out-of-plane-Koerzitivfeld größer 1,3 T. Dieses Verhalten entspricht dem von Filme, die ohne Buffer deponiert wurden.