Regensburg 2002 – scientific programme

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MA: Magnetismus

MA 19: Spinstrukturen und magnetische Phasenübergänge (incl. Sensoren(19.11) und Messmethoden(19.12-13))

MA 19.11: Talk

Thursday, March 14, 2002, 17:45–18:00, H23

Präparation und Charakterisierung von Fluxgate-Magnetfeldsensoren in Dünnschicht-Technologie — •K. Kuchenbrandt, D. Huhnke, K. Lauckner und M. Schilling — Technische Universität Braunschweig, Institut für Elektrische Messtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik, Hans-Sommer-Straße 66, D-38106 Braunschweig

Wir stellen Fluxgate-Sensoren mit sogenannten „Racetrack“-Kernen in Dünnschicht-Technologie her. Bei gleicher Kerngeometrie kommen unterschiedliche Spulen-Layouts zum Einsatz. In diesem Beitrag präsentieren wir das Sensor-Design, die Herstellung sowie die Charakterisierung unserer Sensoren. Die gesputterten Permalloy-Sensorkerne werden auf ihre magnetischen Eigenschaften untersucht. Zur Charakterisierung der Sensoren steht uns ein magnetisch abgeschirmter Messplatz zur Verfügung, in dem Rauschmessungen sowie die Aufnahme von Sensor-Kennlinien im Temperaturbereich von -50^∘C bis +175^∘C möglich sind. Wir vergleichen die gemessenen Sensor-Eigenschaften mit numerischen Simulationen. Schließlich diskutieren wir die Einsatzmöglichkeiten und mögliche Weiterentwicklungen unserer Dünnschicht-Fluxgates.