Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 26: Postersitzung (Rastersondentechniken, Nanostrukturen, Teilchen und Cluster, Methodisches, Oxide und Isolatoren, Grenzfl
äche fest-flüssig, Struktur und Dynamik reiner Oberfl
ächen, Oberfl
ächenreaktionen, Zeitaufg. Spektroskopie, Phasenüberg
änge

O 26.11: Poster

Mittwoch, 13. März 2002, 14:30–17:30, Bereich C

Integration einer Elektronenquelle in einen AFM-Cantilever — •Marcus Schäfer¹, H. Fuchs¹, Ch. Lehrer², L. Frey², T. Sulzbach³, S. Lutter³, T. Pingel⁴ und V. Bürschinger⁴ — ¹Westfälische Wilhelms-Universität, Wilhelm-Klemm Str. 10, 48149 Münster — ²Fraunhofer Institut für Integrierte Schaltungen, 91058 Erlangen — ³Nanosensors GmbH, 35578 Wetzlar — ⁴ATOS GmbH, 64319 Pfungstadt

Ziel des Projekts ist der Einbau eines Feldemitters vom Spindt-Typ [1] in die Spitze eines AFM-Cantilevers. Hierfür werden spezielle AFM-Spitzen mit einem Radius von ca. 1-2 µm benötigt. Das Poster stellt den prinzipiellen Aufbau dieser modifizierten Spitzen vor. Weiterhin wird gezeigt, dass mit den Plateau-Spitzen rasterkraftmikroskopische Aufnahmen mit einer Auflösung von mindestens 50 nm möglich sind. Dabei kann sowohl im contact, als auch im non-contact Modus gemessen werden. Abschließend werden erste Untersuchungen zur elektrischen Charakteristik der Feldemitter-Strukturen gezeigt.

[1] C.A. Spindt, Journal of Applied Physics 39 (1968), pp. 3504-3505