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SYCO: Cluster auf Oberflächen
SYCO 4: Posters (will be on the whole day)
SYCO 4.3: Poster
Donnerstag, 14. März 2002, 18:45–19:30, H 36 Foyer
UHV–Clusterquelle ACIS zur Deposition großer massenselektierter Metallcluster — •R.-P. Methling, J. Passig, V. Senz, A. Kleibert, J. Bansmann und K.-H. Meiwes-Broer — Fachbereich Physik, Universität Rostock, 18051 Rostock
Die Kombination mit den UHV–Apparaturen der Oberflächenphysik stellt besondere Anforderungen an Clusterquellen. Wir haben die kontinuierlich arbeitende Bogenentladungs-Clusterquelle ACIS [1] in einer kompakten, UHV–kompatiblen Version entwickelt, die sich durch niedrigen Basisdruck und moderaten Edelgasanfall am Depositionsort auszeichnet. Die Quelle produziert große Metallcluster im Bereich von 2–20nm mit hoher Intensität. Die Massenselektion wird mit einer statischen Quadrupolanordnung erzielt, welche in der Depositionskammer installiert ist.
Die Leistungsfähigkeit der Quelle wird anhand von
Depositionsexperimenten
und Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) sowie magnetischen
Messungen demonstriert. Dabei wurden
die Cluster teilweise in eine Matrix aus parallel verdampftem
Material
deponiert.
[1] R. Methling et al., EPJD16 (2001) 173