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SYPF: Struktur und Dynamik in dünnen Polymerfilmen

SYPF 2: Poster Session

SYPF 2.36: Poster

Donnerstag, 14. März 2002, 09:00–18:00, Poster B

Dynamic Plowing Lithography (DPL) als Methode zur Herstellung polymerer, ferroelektrischer Mikro-und Nanostrukturen — •Markus Geuß und Heinz Sturm — Bundesanstalt fuer Materialforschung und -pruefung (BAM), Labor VI.21, Unter der Eichen 87, 12205 Berlin

Das Studium der Ferroelektrizitaet im Polyvinyliden-trifluorethylen-Copolymer bei reduzierten Dimensionen wurde bisher nur an duennen Filmen realisiert. Die Anwendung der sog. Dynamic Plowing Lithograpy erlaubt es, mit intermittierendem Kontaktmodus des Rasterkraftmikroskops Strukturen des Copolymers bis zu lateralen Groessen <500 nm zu erzeugen. Die DPL beruht auf der kontrollierten, lokalen Modifikation des Polymers durch Erhoehung der Anregungsamplitude, welche zu einer periodischen Indentation fuehrt. Die modifizierten Bereiche koennen an- schliessend selektiv mit einem geeigneten Loesungsmittel herausgeloest werden. Es wird die Abhaengigkeit der erzeugten Mikro- und Nanostrukturen von den verwandten Lithographiemasken und -parametern gezeigt.Damit gelingt es erstmals, polymere, ferroelektrische Strukturen ausschliesslich durch Anwendung des Rasterkraftmirkoskops zu erzeugen und abzubilden.