Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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SYPO: Plasmaoberflächentechnik – Beschichten, Ätzen und Modifizieren

SYPO II: HV II

SYPO II.1: Hauptvortrag

Montag, 11. März 2002, 14:45–15:30, HS 32

Quantifizierte Teilchenstrahlexperimente niederenergetischer Ionen und thermischer Radikale zur Identifizierung mikroskopischer Wachstums- und Erosionsmechanismen — •Thomas Schwarz-Selinger, Martin Bauer, Christian Hopf, Matthias Meier, Wolfgang Jacob und Achim von Keudell — Centre for Interdisciplinary Plasma Science, Max-Planck Institut für Plasmaphysik, Boltzmannstr.2, D-85748 Garching b. München

Trotz des weitverbreiteten Einsatzes von Niedertemperaturplasmen zur Deposition oder zur Erosion dünner Schichten sowie zur Oberflächenmodifizierung sind die zugrundeliegenden mikroskopischen Mechanismen oft unverstanden. Umfangreiche Parameterstudien und der Einsatz moderner in-situ Echtzeit-Diagnostiken an den Plasmen sowie der aufwachsenden Schicht bringen wertvolle Ergebnisse, lassen jedoch in der Regel nur einen indirekten und damit qualitativen Schluss auf die an der Oberfläche der aufwachsenden Schicht ablaufenden Prozesse zu. Ein Ansatz, mikroskopische Mechanismen zu isolieren, ist die Verwendung von Modellexperimenten mit quantifizierten Teilchenstrahlen.

Im Vortrag wird am Beispiel der amorphen, wasserstoffhaltigen Kohlenstoffschichten (a-C:H) die Problematik motiviert und das Teilchenstrahlexperiment, das am Max-Planck-Institut für Plasmaphysik in den letzten Jahren aufgebaut wurde, vorgestellt. Am Beispiel des Wachstums von a-C:H-Schichten durch die synergistische Wechselwirkung von atomarem Wasserstoff und Methyl-Radikalen und dem Einfluss niederenergetischer Ionen werden die Möglichkeiten und Grenzen der Methode erläutert.