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SYPO: Plasmaoberflächentechnik – Beschichten, Ätzen und Modifizieren

SYPO II: HV II

Montag, 11. März 2002, 14:45–15:30, HS 32

	14:45	SYPO II.1	Hauptvortrag: Quantifizierte Teilchenstrahlexperimente niederenergetischer Ionen und thermischer Radikale zur Identifizierung mikroskopischer Wachstums- und Erosionsmechanismen — •Thomas Schwarz-Selinger, Martin Bauer, Christian Hopf, Matthias Meier, Wolfgang Jacob und Achim von Keudell