Regensburg 2002 – scientific programme

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SYPO: Plasmaoberflächentechnik – Beschichten, Ätzen und Modifizieren

SYPO III: HV III

Monday, March 11, 2002, 15:30–16:15, HS 32

	15:30	SYPO III.1	Invited Talk: Multischichterzeugung für die EUV-Lithographie mit Ionenstrahlen — •Thomas Chassé, Horst Neumann und Bernd Rauschenbach