Regensburg 2002 – scientific programme
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SYPO: Plasmaoberflächentechnik – Beschichten, Ätzen und Modifizieren
SYPO VII: HV VII
Tuesday, March 12, 2002, 10:15–11:00, HS 32
10:15 | SYPO VII.1 | Invited Talk: Nachweis intermediärer Precursoren bei der Plasma-CVD — •Detlef Theirich | |