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Regensburg 2002 – scientific programme

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SYPO: Plasmaoberflächentechnik – Beschichten, Ätzen und Modifizieren

SYPO VII: HV VII

Tuesday, March 12, 2002, 10:15–11:00, HS 32

10:15 SYPO VII.1 Invited Talk: Nachweis intermediärer Precursoren bei der Plasma-CVD — •Detlef Theirich
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