Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe

VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuumverfahrenstechnik

VA 1.5: Hauptvortrag

Montag, 11. März 2002, 11:30–12:10, H47

Technologie und Anwendungen der Vakuumbeschichtung von Architekturglas — •Günter Bräuer — Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik, Dresden und Fraunhofer Institut für Schicht und Oberflchentechnik, Braunschweig

Die Vakuumveredelung von Architekturglas mit Hilfe der magnetfeldgestützten Kathodenzerstäubung (Magnetron-Sputtern) hat in den vergangenen zwanzig Jahren eine stürmische Entwicklung erlebt. Die weltweit installierte Beschichtungskapazität liegt derzeit bei 150 - 200 Mio. m2 pro Jahr. Wesentliche Produkte sind die bereits am Markt etablierten Wärmedämm- und Sonnenschutzschichten, schaltbare Schichtsysteme (elektrochrome, gasochrome, thermochrome Schichten) befinden sich in unterschiedlichen Entwicklungsstadien bzw. in der Pilotfertigung. Das in den letzten Jahren zur Produktionsreife geführte Puls-Magnetron-Sputtern hat wesentlich dazu beigetragen, die Sicherheit der Prozesse, die Produktivität der Anlagen und die Leistungsfähigkeit der Schichten zu erhöhen. Insbesondere die für viele Anwendungen wichtigen dielektrischen Materialien können mit hohen Depositionsraten stabil auf großen Flächen abgeschieden werden, die Schichten selbst sind deutlich dichter und härter als bei der konventionellen Gleichspannungs-Zerstäubung. Der Vortrag skizziert die wesentlichen Anwendungen und gibt einen Einblick in moderne Beschichtungsverfahren.