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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 3: Vakuummesstechnik

VA 3.2: Vortrag

Montag, 11. März 2002, 15:30–15:50, H47

Helium-Testlecks zur Kalibrierung von Lecksuchern — •Jitschin Wolfgang — Fachbereich MNI, Fachhochschule Giessen, 35390 Giessen

Zur Empfindlichkeitseinstellung von Lecksuchern werden Testlecks verwendet, die einen bekannten Gasstrom liefern. Das Labor für Vakuumtechnik der FH in Giessen kalibriert seit einigen Jahren fremde Testlecks mittels Vergleich mit eigenen Referenzlecks, wobei vielfältige Erfahrungen gesammelt wurden. Als Referenzlecks stehen drei Diffusionslecks mit eigenem Gasreservoir zur Verfügung, deren Leckraten nahe bei 1E-7 mbar*l/s liegen. Zwei Referenzlecks haben ein Leckelement aus Quarzglas, das dritte ein Leckelement aus Kunststoff. Zwecks Rückführbarkeit auf staatliche Normale wird ein Quarz-Referenzleck regelmässig von der PTB in Berlin kalibriert. Bei den Vergleichsmessungen im Labor für Vakuumtechnik in Giessen befinden sich alle Lecks im thermostatisierten Wasserbad bei (20,00+-0,05) Grad C, da die Leckrate stark temperaturabhängig ist. Eine Vergleich erfolgt durch eine Messreihe mit etwa 8 Einzelmessungen. Im Fall von Lecks mit Quarz-Leckelement wird dabei eine hohe Vergleichsgenauigkeit von typisch 0,6 % (2 sigma) erreicht. Die Leckrate der Lecks nimmt allmählich infolge der Entleerung des Reservoirs ab. Rechnerisch ergibt sich eine Abnahme pro Jahr von 1,2 % für das Referenzleck ’gold’ und 1,7 % für das Referenzleck ’grün’, also von 0,5 % für das Verhältnis. Die Messwerte zeigen jedoch eine Abnahme pro Jahr von 1,0 % für das Verhältnis. Im Fall des Lecks mit Kunststoff-Leckelement ergeben sich starke zeitliche Schwankungen (bis zu 10 %), die nicht verstanden sind.