Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm
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CPP: Chemische Physik und Polymerphysik
CPP 22: POSTER C
CPP 22.16: Poster
Donnerstag, 27. März 2003, 12:00–14:00, ZEU/250
Steuerung der elektrochemischen Abscheidung durch elektronenstrahlstrukturierte selbstaggregierende Monolagen — •Berthold Völkel1, Gisela Kaltenpoth1, Armin Gölzhäuser1 und Manfred Buck2 — 1Angewandte Physikalische Chemie, Universität Heidelberg — 2University of St Andrews, UK
Die elektrochemische Abscheidung dünner Metallfilme wird durch die Struktur der Elektrodenoberfläche auf Nanometerskala beeinflusst. Wir zeigen, dass selbstaggregierende Monolagen (SAMs) eine gezielte Modifikation von Elektrodenoberflächen ermöglichen und zur Herstellung von Vorlagen (Templaten) für die elektrochemischen Abscheidung verwendet werden können. SAMs aus Alkanthiol (AT) und Biphenylthiol (BP) wurden auf Goldelektroden aufgebracht und mittels Elektronenstrahllithographie modifiziert. Bei der nachfolgenden Kupferabscheidung beobachtet man bei AT eine bevorzugte Abscheidung in die bestrahlten Bereiche, während diese bei BP in die unbestrahlten Bereiche erfolgt [1]. Durch die Nutzung dieser Selektivität können Cu Nanostrukturen mit lateralen Dimension von bis zu 30 nm hergestellt werden.
[1] T. Felgenhauer, C. Yan, H.T. Rong, A. Gölzhäuser, M. Buck, Appl. Phys. Lett. 79, 3323 (2001).