Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm

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CPP: Chemische Physik und Polymerphysik

CPP 22: POSTER C

CPP 22.53: Poster

Donnerstag, 27. März 2003, 12:00–14:00, ZEU/250

Infrarot-Ellipsometrie zur Charakterisierung von polymeren Schichtenstapeln — •K Hinrichs¹, M. Gensch¹, K. Sahre², K.-J. Eichhorn², A. Röseler¹ und E.H. Korte¹ — ¹Institut für Spektrochemie und Angewandte Spektroskopie - Institutsteil Berlin, — ²Institut für Polymerforschung, Hohe Str. 6, D-01062 Dresden

Die IR-Ellipsometrie liefert in einem Experiment einen umfangreichen Datensatz, der die Bestimmung der Schichtdicke und der optischen Konstanten erlaubt. Zur Bestimmung werden iterative Berechnungen verwendet, die auf einem Modell aus der klassischen elektromagnetischen Theorie beruhen. Durch die Auswertung lassen sich das Spektrum des Brechungsindexes und des Absorptionsindexes bestimmen und daraus Rückschlüsse auf strukturelle Eigenschaften in einer dünnen Schicht ziehen [1]. Durch ein schrittweises Vorgehen ist es möglich, auch Stapel aus mehreren Schichten (z.B. Polyimidschichten mit modifizierter Oberfläche, Doppelschicht zweier verschiedener Polymere) zu charakterisieren. Dies ist von besonderer Bedeutung, wenn der Kontrast für die Analyse der einzelnen Schichten bei Untersuchungen mit anderen Methoden (wie Ellipsometrie im Sichtbaren) zu gering ist.

[1] K. Hinrichs, D. Tsankov, E.H. Korte, A. Röseler, K. Sahre, K.-J. Eichhorn, Appl. Spectrosc. 56 (2002) 737-743.