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DF: Dielektrische Festkörper

DF 8: Dielektrische und ferroelektrische Schichten, Nanostrukturen und Rastermethoden

DF 8.5: Vortrag

Donnerstag, 27. März 2003, 11:10–11:30, HSZ/403

Evanescente Mikrowellen. Eine neue Rastersonde zur Bestimmung dielektrischer Oberflächeneigenschaften mit hoher Ortsauflösung — •Ude Hangen¹ und Xiao-Dong Xiang² — ¹SURFACE, Rheinstrasse 7, 41836 Hückelhoven, Deutschland — ²Intematix, Rheem Boulevard, Moraga, CA, USA

Ein koaxialer Mikrowellenresonator wird als Sonde verwendet. Die Wechselwirkung zwischen Mikrowelle und Probenoberfläche führt zu einer Änderung in Resonanzfrequenz und Qualtiaetsfaktor der Sonde. Durch den Aufbau des Resonators treten keine propagierende Mikrowellen auf. Die Sonde erlaubt die quantitative Bestimmung von dielektrischen Eigenschaften von Bulk-Materialien und dünnen Schichten mit einer lateralen Auflösung im SubMikrometerbereich.

Die Technik der neuen Sonde wird vorgestellt und die Leistungsfähigkeit anhand von Beispielen aus dem Bereich der Dielektrika, Halbleiter und Leiter veranschaulicht.