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DS: Dünne Schichten

DS 1: FV-internes Symposium „Dünnschichtanalytik“ I

DS 1.3: Hauptvortrag

Montag, 24. März 2003, 10:50–11:30, GER/37

Orts- und zeitaufgelöste Analytik dünnster Schichtsysteme — •Christian Ziethen — Johannes Gutenberg-Universität Mainz, Institut für Physik, Staudinger Weg 7, 55099 Mainz

Moderne Methoden der oberflächenempfindlichen Elektronenmikroskopie basierend auf der Technik der Emissions- Elektronenmikroskopie (EEM) bieten die Möglichkeit, eine Vielzahl von Schichteigenschaften wie chemische Zusammensetzung, Bindungsumgebungen, kristalline Struktur, statische und dynamische magnetische Eigenschaften, Schichtdicken u.a. mit typischen Ortsauflösungen von besser als 100 nm zu untersuchen [1-4].

Der Vortrag stellt den Stand der technischen Entwicklung der verwendeten Elektronenoptiken und -analysatoren sowie der zeitauflösenden Detektoren dar und vergleicht mit alternativen Techniken. Die gezeigten Beispiele umfassen ein weites Feld, von der Korrosionsschutzwirkung durch Kohlenstofffilme mit Dicken kleiner als 2 nm bis zur Magnetisierungsdynamik magnetischer Mikrostrukturen. [1] Ch. Ziethen et al., Diamond and Related Materials 11 (2002) 1068-1073; [2] Th. Schmidt et al., Surface Review and Letters 9 (2002) 223-232; [3] C.M. Schneider, G. Schönhense, Reports Prog. Phys. (2002), in print; [4] G. Schönhense et al., Surf. Sci. 480 (2001) 180-187