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DS: Dünne Schichten

DS 24: Poster

DS 24.2: Poster

Dienstag, 25. März 2003, 14:30–17:00, P2a

Einfluss der Beschichtungsparameter des modifizierten Puls-Arc-Verfahrens auf das Beschichtungsplasma und die Schichteigenschaften — •Karola Keutel¹ und Enrico Hettkamp² — ¹Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, FNW/IEP/AVP, PF 4120, 39016 Magdeburg — ²Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, FEIT/IESY, PF 4120, 39016 Magdeburg

Das Beschichtungsverfahren der kathodischen Bogenentladung zur Erzeugung von Hartstoffschichten ist durch einen hohen Ionisationsgrad des Plasmas charakterisiert. Eine Weiterentwicklung auf diesem Gebiet ist das modifizierte Puls-Arc-Verfahren. Es ist durch eine kontinuierliche Bogenentladung gekennzeichnet, die durch einen Gleichstrom- und einen Pulsstromanteil erzeugt wird. Die Verwendung zeigt im Vergleich zum herkömmlichen DC-Verfahren eine effektivere Ausnutzung des Targetmaterials und eine Reduktion der Dropletemission.

In diesem Beitrag werden Untersuchungen zur Einflussnahme auf das Beschichtungsplasma und auf die Schichteigenschaften am Schichtsystem Titannitrid vorgestellt. Einflussgrößen sind unterschiedliche Prozessparameter wie Pulsstrom, Pulsfrequenz, Pulsdauer, Druck, u.a. Ein besonderes Augenmerk wird auf die Ausbildung des Ionenstromes gelegt. Eine weitere eingesetzte Untersuchungsmethode stellt die optische Emissionsspektroskopie dar./par So wurde unter anderem festgestellt, dass die Ionenstromdichte des Beschichtungsplasmas und die Rauheit der abgeschiedenen Schichten von der Höhe des aufgeprägten Pulsstromes abhängen. (Gefördert durch die DFG Me 1060/9-1)