Dresden 2003 – scientific programme
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DS: Dünne Schichten
DS 24: Poster
DS 24.31: Poster
Tuesday, March 25, 2003, 14:30–17:00, P2a
Herstellung und Charakterisierung von polykristallinen BaTiO3 Dünnschichten auf MgO für optische Anwendungen. — •Martin Schmid1, Adrian Petraru1, Opas Trithaveesak1, Christian Ohly2, Jürgen Schubert1 und Christoph Buchal1 — 1Institut für Schichten und Grenzflächen (ISG1-IT), — 2Institut für Festkörperforschung, Forschungszentrum, 52425 Jülich, Deutschland
Für die Herstellung von integrierten optischen Bauelementen werden dünne elektro-optisch aktive Schichten benötigt. Monokristalline Schichten aus BaTiO3 (BTO) auf MgO weisen einen hohen elektro-optischen Effekt und eine hohe Transparenz im sichtbaren und nahen infraroten Licht auf. Um die Integration von BTO in einen Siliziumprozess zu erleichtern, wäre der Einsatz von polykristallinem BTO wünschenswert.
Für die Untersuchung der Verwendbarkeit von poly-BTO in optischen Anwendungen haben wir 1 µm dicke BTO-Schichten mittels Pulsed Laser Deposition auf MgO abgeschieden. Dabei wurde die Substrattemperatur zwischen 250∘C und 900∘C variiert. Ein Teil der Schichten wurde anschließend unter Argon- bzw. Sauerstoff-Fluss bei 600∘C, 800∘C und 1100∘C getempert. Die Stöchiometrie der Schichten wurde mittels Rutherford Backscattering Spektroskopie (RBS) ermittelt und die strukturellen Eigenschaften mittels RBS/Channeling, XRD und Scanning Electron Microscopy analysiert. Der Brechungsindex, die Doppelbrechung und die optische Dämpfung der Schichten wurden mit einem Prismenkopplungs-Messplatz für eine Wellenlänge von 633 nm bestimmt.