Dresden 2003 – scientific programme
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DS: Dünne Schichten
DS 24: Poster
DS 24.36: Poster
Tuesday, March 25, 2003, 14:30–17:00, P2a
Herstellung temperaturstabiler transparenter Oxidschichten — •Olaf Zelesnik — Fraunhofer IST, Bienroderweg 54E, 38108 Braunschweig
An optische Filtersysteme aus dünnen Oxidschichten werden immer höhere Anforderungen gestellt. In vielen Fällen ist der Einsatz derartiger Schichten unter hohen Temperaturen von einigen hundert Grad Celsius notwendig und macht besonders stabile Materialsysteme erforderlich. Der Schwerpunkt dieser Arbeit wurde auf die Untersuchung von Titandioxid (TiO2) gelegt, welches sich neben seiner Transparenz im sichtbaren Spektralbereich vor allem durch den hohen Brechungsindex seiner Rutil-Phase auszeichnet. TiO2 bietet auf Grund vielfältiger Einflüsse verschiedener Herstellungsarten auf die Struktur der Schicht, breiten Raum zur weiteren Optimierung.
Die Herstellung erfolgte mittels reaktiven Mittelfrequenz Magnetronsputtern, wobei die verwendete Beschichtungsanlage (PLS 580 Boxcoater) durch eine leistungsgeregelte Stabilisierung des Sauerstoffpartialdruckes die Untersuchung eines sonst schwer zugänglichen, interessanten Prozeßbereichs ermöglichte. Neben der strukturellen Charakterisierung der Schichten mittels XRD wurden ellipsometrische Untersuchungen der optischen Parameter und Haze Messungen mit einer integrierenden Kugel zur Bestimmung des Streuvermögens in einem Temperaturbereich bis 1100∘C durchgeführt. Ergänzend wurden Messungen mit Raman Spektroskopie, mechanischer Spektrokopie, REM und AFM durchgeführt.