Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 24: Poster
DS 24.41: Poster
Dienstag, 25. März 2003, 14:30–17:00, P2a
Herstellung neuer isolierender Polymerfilme durch Dampfphasenabscheidung — •Christian Kelting1, Dieter Wöhrle2, Derck Schlettwein1 und Andreas Hirth2 — 1Physikalische Chemie 1, Universität Oldenburg, 26111 Oldenburg — 2Institut für Organische und Makromolekulare Chemie, Universität Bremen, 28334 Bremen
Dünne Polymerfilme sind aufgrund ihrer Isolatoreigenschaften wichtige Bestandteile in elektronischen Bauteilen. Gegenstand dieser Arbeit ist die Dampfphasenabscheidung von Polymerfilmen mit einer Dicke von ca. 100 nm. Die Polymerpulver werden im Vakuum thermisch erhitzt und so zu Bruchstücken pyrolysiert. Diese Bruchstücke wurden in der Gasphase durch in situ Massenspektrometrie bestimmt. Auf dem jeweiligen Substrat ist eine Repolymerisation der Bruchstücke zu beobachten. Mit dieser Methode werden mechanisch, chemisch und thermisch stabile vernetzte Filme erhalten. Verschiedene Polymere wurden eingesetzt (PVC, PS, PVDF, PVP, PVPy). Die Eignung der Filme als Isolatorschichten wurde durch Cyclovoltammetrie untersucht. Ein Vergleich zu Polymerfilmen, die durch "Spin Coating"aus Lösungen hergestellt wurden, erlaubt Aussagen zur Qualität der Filme. Die thermische Dampfphasenabscheidung ermöglicht ein gleichzeitiges Aufdampfen von Polymeren und organischen Halbleitern, was zu einer Einbettung der Halbleitermoleküle in eine Matrix aus Polymer führt. Die Morphologie der Filme wurde durch AFM (Atomic Force Microscopy) bestimmt.