DPG Phi
Verhandlungen
Verhandlungen
DPG

Dresden 2003 – scientific programme

Parts | Days | Selection | Search | Downloads | Help

DS: Dünne Schichten

DS 24: Poster

DS 24.51: Poster

Tuesday, March 25, 2003, 14:30–17:00, P2a

In-situ Ellipsometrie: Untersuchungen gaschrom schaltbaren Wolframoxids — •François Vertommen, Christian Salinga, Pascal Meyers, Theofilos Eleftheriadis, Oliver Kappertz und Matthias Wuttig — I. Physikalisches Institut (IA), Lehrstuhl für Physik neuer Materialien, RWTH Aachen

Wolframoxid (WOx) ist unter Luft bzw. sauerstoffhaltiger Atmosphäre transparent. Unter wasserstoffhaltiger Atmosphäre färbt sich die Schicht im sichtbaren Bereich blau, da durch Wasserstoffeinbau eine Absorption im Infraroten (Polaronabsorption) generiert wird. Diese Schichteigenschaft kann in intelligenten Fenstern (sog. smart windows) zur Energieersparnis genutzt werden.
Das Spektral-Ellipsometer M2000UI der Firma Woollam wurde um eine Gaszelle erweitert, die in-situ Ellipsometriemessung an gaschrom schaltbaren Schichtsystemen ermöglicht. Diese Gaszelle, bei der die zu untersuchende Glasprobe selbst die obere Begrenzung des Gasvolumens ist, kann über einen Gasmischstand mit diversen Gasgemischen und einem Gesamtdruck von bis zu 5 bar gefüllt werden. Gleichzeitig zur Ellipsometriemessung (Psi/Delta) kann auch die Transmission (T) des Schichtsystems beobachtet werden. Die Resultate (Psi/Delta/T) des gaschromen Ein- und Entfärbens unter H2- bzw. O2-haltiger Atmosphäre von WOx -Schichten werden präsentiert. Platin als Katalysator schließt das einfache Schichtsystem (Glas/WOx/Pt) ab. Aus einer anschließenden Simulation können die dielektrische Funktion mit der Stärke des harmonischen Oszillators sowie die Dicke der Schichten ermittelt werden.

100% | Mobile Layout | Deutsche Version | Contact/Imprint/Privacy
DPG-Physik > DPG-Verhandlungen > 2003 > Dresden