DS 6: Silicidschichten
Monday, March 24, 2003, 11:00–11:45, GER/38
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11:00 |
DS 6.1 |
EPITAXIAL GROWTH OF CrSi2 ON SILICON — •Olga Filonenko, A. Mogilatenko, H. Hortenbach, G. Beddies, and H.-J. Hinneberg
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11:15 |
DS 6.2 |
Chromsilicid/Silicium-Multilagen — •Daniel Decker, Enrico Loos, Gunter Beddies, Hans-Jürgen Hinneberg, Anna Mogalitenko, Olga Filonenko und Joachim Schumann
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11:30 |
DS 6.3 |
In-situ Röntgendiffraktometrie bei der Temperung von Mo-Si-Multilagenschichten — •Anke Köhler, Jürgen W. Gerlach, Yvonne Bohne, Thomas Höche und Thomas Chasse
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