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DY: Dynamik und Statistische Physik

DY 25: Growth processes and interface features I

DY 25.6: Vortrag

Dienstag, 25. März 2003, 16:15–16:30, G\"OR/229

Experimente und Simulationen zum Wachstum amorpher Aufdampfschichten bei schräger Teilchendeposition — •Sebastian Vauth, Christoph Streng, Stefan Mayr und Konrad Samwer — I. Physikalisches Institut, Universität Göttingen, Bunsenstr. 9, D-37073 Göttingen

Bei thermisch aufgedampften amorphen Schichten kann man in der Oberflächenmorphologie Strukturbildung erkennen. Ein solches System liefert somit ein Beispiel für die Entstehung mesoskopischer Strukturen aus atomaren Prozessen, die wegen der Abwesenheit kristalliner Anisotropie im Detail modelliert werden können. Nach senkrecht bedampften amorphen Schichten wurden nun unter einem Verkippungswinkel bedampfte Schichten untersucht. Zur Modellierung auf mesoskopischer Skala werden Kontinuumsmodelle in Form von stochastischen Feldgleichungen verwendet, denen atomare Prozesse wie Oberflächendiffusion und Selbstabschattung zugrunde liegen. Mit Monte Carlo Simulationen werden die Auswirkungen atomarer Prozesse auf die mesoskopische Skala untersucht, wobei man hier im wesentlichen von einem DLA-Modell ausgeht, das noch durch Nahordnungseffekte wie Clusterbildung erweitert ist. In beiden Modellierungen ist als Parameter der Verkippungswinkel enthalten. Die so gewonnenen Simulationsergebnisse werden mit rastertunnelmikroskopischen Aufnahmen der Oberfläche sowie TEM-Aufnahmen des Probenquerschnitts verglichen, wobei die auftretenden Unterschiede diskutiert werden. Diese Arbeit wird vom SFB 602 unterstützt.