Dresden 2003 – scientific programme

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HL: Halbleiterphysik

HL 14: Poster I

HL 14.1: Poster

Monday, March 24, 2003, 17:00–19:30, HSZ/P2

Untersuchung der Precursor-Zerlegung in der MOVPE mittels Infrarot-Fourierspektroskopie — •Ch. Kaspari, F. Poser, S. Weeke und W. Richter — Technische Universität Berlin, Institut für Festkörperphysik, Sekr. PN 6-1, Hardenbergstraße 36, D-10623 Berlin

Eine wesentliche Voraussetzung zur Optimierung des Wachstums in der metallorganischen Gasphasenepitaxie ist eine möglichst genaue Kenntnis der Precursor-Zerlegung.

Wir führen solche Zerlegungsuntersuchungen unter Wachstumsbedingungen in situ mittels Infrarot-Fourierspektroskopie durch, so daß  trotz der Messung am Probenort die Prozesse im MOVPE-Reaktor nicht beeinflußt werden. Die beteiligten Moleküle werden anhand ihrer Schwingungsbanden identifiziert.

Wir präsentieren Meßergebnisse der Precursorkonzentration (Arsin, Tertiärbutylarsin u.a.) sowie der Pyrolyseprodukte als Funktion der Suszeptortemperatur und bestimmen unter Berücksichtigung der thermischen Ausdehnung der Gase die Zerlegung der Precursor.