Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 12: Postersitzung (Struktur und Dynamik reiner Oberfl
ächen, Grenzfl
äche fest-flüssig, Nanostrukturen, Teilchen und Cluster, Halbleiteroberfl
ächen und Grenzfl
ächen, Zeitaufgelöste Spektroskopie, Rastersondentechniken, Methodisches)

O 12.54: Poster

Montag, 24. März 2003, 18:00–21:00, P1

Integration of an electron-source into an AFM-probe — •M. Schäfer¹, H. Fuchs¹, C. Lehrer², L. Frey², T. Sulzbach³, V. Bürschinger⁴, and S. Gunst⁴ — ¹Westfälische Wilhelms-Universität, 48149 Münster — ²Fraunhofer Institut für Integrierte Schaltungen und Bauelemente, 91058 Erlangen — ³Nanoworld Services, 91058 Erlangen — ⁴ATOS GmbH, 64319 Pfungstadt

The aim of the project is the integration of a Spindt-type [1] field-emitter into the tip of an AFM-probe with a diameter of appr. 5µm. First of all the basic structure and concept of these modified probes will be shown. Preliminary investigations on planar silicon wafers were performed to optimize the preparation and to test the functionality of the field-emitter structures. The imaging capability of the plateau-tips has been tested on several test-samples and showed a resolution of about 50nm in non-contact mode. Finally an integrated field-emitter is presented.

[1] C.A. Spindt: A Thin-Film Field-Emission Cathode, Journal of Applied Physics 39 (1968), pp. 3504-3505