Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 22: Epitaxie und Wachstum I

O 22.3: Vortrag

Dienstag, 25. März 2003, 15:30–15:45, FOE/ORG

Wachstum, Struktur und thermische Stabilität ultradünner Titandioxidfilme auf Ru(0001) — •A. Männig, Z. Zhao, H. Rauscher und R.J. Behm — Universität Ulm, D-89069 Ulm

Ultradünne Titandioxidfilme im Submono- bis Monolagenbereich wurden auf einer Ru(0001)-Oberfläche präpariert und mit STM und AES untersucht. Die Darstellung erfolgt durch Aufdampfen von Titan im UHV oder in einer Sauerstoffatmosphäre ( p = 10⁻⁷ mbar) bei 640 K und anschließendem Nachtempern bei 800 K (ebenfalls im UHV oder unter Sauerstoffatmosphäre). In allen Fällen bilden sich dreieckige Inseln mit enger Größenverteilung, welche bei Nachtempern im UHV - jedoch nicht in Sauerstoffatmosphäre - zu größeren Einheiten agglomerieren. Im Monolagenbereich findet man nahezu geschlossene epitaktische Filme. Nach Tempern bei 1000 K im UHV bildet sich eine wohlgeordnete Struktur mit einer Periodizität von 2,5 nm, wogegen dieselbe Behandlung in einer Sauerstoffatmosphäre nur zu einer Nahordnung führt. AES zeigt, dass sich beim Tempern die Stöchiometrie des Films zu höheren Sauerstoffgehalten ändert, jedoch bleibt sie deutlich unter der von stöchiometrischem TiO₂.