Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm

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O: Oberflächenphysik

O 5: Rastersondentechniken I

O 5.6: Vortrag

Montag, 24. März 2003, 12:30–12:45, FOE/ORG

Einfluss von tribologischen Eigenschaften auf die Positioniergenauigkeit — •W. Hild¹, G. Hungenbach¹, Y. Liu¹, A. Opitz¹, P. Jaschinsky¹, M. Scherge² und J. A. Schaefer¹ — ¹Institut für Physik und Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien, TU Ilmenau, PF 100565, D-98684 Ilmenau — ²IAVF Antriebstechnik AG, Im Schlehert 32, D-76187 Karlsruhe

Im Rahmen des SFB 622 soll eine Nanopositionier- und Messmaschine (NPM-Maschine) entwickelt werden, die eine Positionierung mit einer Genauigkeit von wenigen nm möglich macht. Die tribologischen Eigenschaften, wie Reibung, Adhäsion und Benetzbarkeit, der sich bewegenden Teile haben den größten Einfluss auf die Genauigkeit und Reproduzierbarkeit der NPM-Maschine. Problematisch ist insbesondere der Einfluss des Wassers, das auf fast allen ungeschmierten technischen Oberflächen vorkommt und hohe Reibung sowie Stick-Slip Effekte zur Folge hat. In diesem Vortrag sollen die Probleme, die bei Bewegungen im Mikrobereich auftreten, diskutiert werden und ein möglicher Lösungsvorschlag durch die Verwendung von selbstassemblierenden Monolagen (SAMs) aufgezeigt werden. Oberflächen bedeckt mit SAMs sind hydrophob, so dass die tribologischen Eigenschaften nicht von der Luftfeuchte abhängen. Außerdem ist die Reibung auf SAMs sehr niedrig sowie flüssigkeitsartig und weist somit keine Stick-Slip auf.