Dresden 2003 – wissenschaftliches Programm

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TT: Tiefe Temperaturen

TT 20: Postersitzung IV (Mesoskopische Systeme, Supraleitung: Massivmaterialien, Bandleiter, Pinning, Vortexdynamik, Transporteigenschaften, Korngrenzen)

TT 20.16: Poster

Donnerstag, 27. März 2003, 14:30–19:00, P2c, P2d

Herstellung magnetischer Tunnelkontakte mit lateralen Abmessungen im sub- µm Bereich — •Jürgen Schuler, Markus Tober, Christian Probst, Karl Neumeier, Achim Marx und Rudolf Gross — Walther-Meissner-Institut, Bayerische Akademie der Wissenschaften, Walther-Meissner Straße 8, 85748 Garching

Wir entwickeln einen Prozess zur Herstellung von ferromagnetischen Tunnelkontakten mit Al₂O₃-Barrieren. Ziel dieser Entwicklung ist es, Doppeltunnelkontakt-Strukturen (SET-Strukturen) herzustellen, deren Elektroden und deren Insel wahlweise aus ferromagnetischen Metallen, Normalleitern oder Supraleitern bestehen können. Hiermit soll das Zusammenspiel von tunnelmagnetoresistiven und Einzelladungseffekten mit Normal- und Supraleitern untersucht werden.

Unsere derzeitigen Arbeiten konzentrieren sich zum einen auf die Optimierung der Prozeßparameter für die verschiedenen Materialsysteme, wobei die Herstellung von kurzschlußfreien Tunnelkontakten mit Al₂O₃-Barrieren mit geeigneten Tunnelwiderständen im Vordergrund stehen. Zum anderen haben wir im Bereich der Photolithographie ein Verfahren umsetzen können, mit dessen Hilfe die Herstellung von flach auslaufenden Metallstrukturen möglich ist.

Zur Vermessung der Bauelemente wird ein von uns selbst gebauter ³He/⁴He-Mischkryostat eingesetzt, der speziell für den Einsatz zur Charakterisierung von SET-Strukturen und Qubits konzipiert wurde.