Hannover 2003 – wissenschaftliches Programm
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Q: Quantenoptik
Q 15: Pulserzeugung XUV/EUV/x-ray
Q 15.5: Vortrag
Montag, 24. März 2003, 17:30–17:45, F107
Charakterisierung einer Hohen Harmonischen Quelle, basierend auf einem Toroidgittermonochromator — •Rolf Früke1, Grigorios Tsimilis2, Marek Wieland1, Ulrich Vogt1, Jörg Kutzner2, Helmut Zacharias2 und Thomas Wilhein1 — 1RheinAhrCampus Remagen, Fachhochschule Koblenz, Südallee 2, D-53424 Remagen — 2Westfälische Wilhelms-Universität Münster, Physikalisches Institut, Wilhelm-Klemm-Straße 10, D-48149 Münster
Quellen für Licht im extrem ultravioletten und weichen Röntgenbereich finden ihren Anwendungsbereich z.B. in der Lithografie, Mikroskopie und Spektroskopie. Die Emission Hoher Harmonischer stellt dabei eine Möglichkeit dar, diesen Spektralbereich im Labor zur Verfügung zu stellen. Zur Anregung Hoher Harmonischer wird ein 1 kHz Ti:Saphir Lasersystem (Δτ=30 fs) verwendet. Für die Charakterisierung einer solchen Quelle wurde die Anzahl der emittierten Photonen hinter dem Toroidgittermonochromator (600 Linien pro mm) und gemessen und die Strahlparameter bestimmt. Dies wurde für die Gase Argon und Neon als Quellmedium durchgeführt. Bei 13 nm Wellenlänge (Ne: 59. Harm.) wurde die Abhängigkeit der Hohen Harmonischen von der Leistung des Anregungslasers gemessen und der Einfluß des Chirps auf die Strahlungsparameter untersucht. Detektiert wurde die Strahlung mit einer rückseitig gedünnten XUV-CCD Kamera.