Hannover 2003 – scientific programme

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Q: Quantenoptik

Q 49: Poster: Photonik

Q 49.1: Poster

Thursday, March 27, 2003, 16:30–18:30, Lichthof

Herstellung dreidimensionaler Strukturen in SU-8 mittels Multiphotonen-Polymerisation für die Nanophotonik — •M. Deubel¹ und M. Wegener^1,2 — ¹Institut für Angewandte Physik, Universität Karlsruhe (TH), Wolfgang-Gaede-Straße 1, 76131 Karlsruhe — ²Institut für Nanotechnologie, Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft, 76021 Karlsruhe

Mittels der so genannten holographischen Lithographie ist es im Prinzip möglich, Photonische Kristalle zugehörig zu allen 14 Bravais-Gittern in drei Dimensionen herzustellen. Der weitere Charme dieses Zugangs besteht darin, dass in einem nachfolgenden zweiten Belichtungsschritt Defekte und Wellenleiter durch stark fokussierte Femtosekunden-Laserimpulse in drei Dimensionen geschrieben werden können. Hierbei ist die Kompatibilität der Prozessschritte essentiell. Insbesondere muss derselbe Photolack benutzt werden. Hier stellen wir Ergebnisse im Dickfilm-Photolack SU-8 vor. Bei Verwendung eines Ölimmersionsobjektivs mit einer numerischen Apertur von 1.4 erreichen wir ca. 200 nm laterale und 550 nm longitudinale Auflösung. Verschiedene Teststrukturen werden vorgestellt.