Hannover 2003 – scientific programme

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Q: Quantenoptik

Q 49: Poster: Photonik

Q 49.7: Poster

Thursday, March 27, 2003, 16:30–18:30, Lichthof

Herstellung von Templaten für dreidimensionale Photonische Kristalle mittels holographischer Lithographie — •Daniel C. Meisel¹, Yuri V. Miklyaev¹, Wolfpeter Koch², Georg von Freymann¹, Kurt Busch³ und Martin Wegener^1,2 — ¹Institut für Nanotechnologie, Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft, D-76021 Karlsruhe — ²Institut für Angewandte Physik, Universität Karlsruhe (TH), D-76128 Karlsruhe — ³Institut für Theorie der Kondensierten Materie, Universität Karlsruhe (TH), D-76128 Karlsruhe

Wir belichten eine ca. 10 µm dicke SU-8-Photolackschicht mit einem Vielstrahlinterferenzmuster und entwickeln diese. Die Einstrahlrichtungen der Laserstrahlen legen den Gittertyp fest, die Intensitäten und Polarisationen die Form der Oberfläche des Basiselementes [1]. Die Lichtquelle ist ein gütegeschalteter und frequenzverdreifachter Nd:YAG-Laser. Durch Einsatz eines optischen Einkoppelelementes konnte erstmals eine dreidimensional-periodische Photolack-Luft-Struktur mit fcc-Gittersymmetrie hergestellt werden [2]. Die Template werden mittels REM-Aufnahmen und optischer Transmissionsspektroskopie untersucht. Es ergibt sich ein Stoppband, dessen Lage und Breite mit Bandstrukturrechnungen übereinstimmt.

[1] M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning und A. J. Turberfield, Nature 404, 54 (2000)

[2] Yu. V. Miklyaev, D. C. Meisel, A. Blanco, G. von Freymann, K. Busch, W. Koch, C. Enkrich, M. Deubel und M. Wegener, zur Veröffentlichung eingereicht