Kiel 2004 – scientific programme

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K: Kurzzeitphysik

K V: HV V

K V.1: Invited Talk

Wednesday, March 10, 2004, 11:00–11:30, A

Ultrakurzpuls-Laserablation vorgespannter Oberflächenschichten als Wirkungsmechanismus einer Silizium-Mikroaktorik zur hochgenauen Positionierung — •Gerd Eßer und Manfred Dirscherl — Bayerisches Laserzentrum gGmbH, Konrad-Zuse-Str. 2-6, 91054 Erlangen

Die Funktion mikromechanischer und mikrooptischer Baugruppen muss oftmals durch hochgenaue Positionierung einzelner optischer, mechanischer oder elektronischer Komponenten sichergestellt werden. Taktile und thermisch basierte Justierverfahren stoßen aufgrund von Toleranzproblemen und Rückfederungseffekten bereits bei Größenordnungen von ca. 1 µ m an ihre Grenzen.

Deshalb wird derzeit das laserbasierte Justierverfahren NOTILA (Non-thermal Impact Laser Adjustment) entwickelt, dessen Grundmechanismus auf der kalten Laserstrahlablation vorgespannter Oberflächenschichten basiert. Mit Hilfe dieser Technik werden durch Beschichtungen elastisch vorgespannte Siliziumaktoren stufenweise entspannt und somit geringste Lageänderungen realisiert. Der Beitrag geht auf die Interaktion ultrakurzer Laserpulse mit Materie ein und erläutert den Wirkungsmechanismus des Justierverfahrens anhand eines elastostatischen Modells. Erste experimentelle Ergebnisse werden ebenfalls vorgestellt.