Kiel 2004 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 10: Postersitzung: Niedertemperaturplasmen Plasmatechnologie II, Staubige Plasmen II, Magnetischer Einschluss II

P 10.28: Poster

Dienstag, 9. März 2004, 17:45–19:30, Foyer

Zeitaufgelöste elektrische Messungen in staubigen Plasmen — •Janine-Christina Schauer, Suk-Ho Hong und Jörg Winter — Ruhr-Universität Bochum

Es ist bekannt, dass die elektrischen Eigenschaften eines Plasmas durch Partikelbildung in reaktiven Gasen stark beeinflusst werden. Wir haben die Änderungen der elektrischen Eigenschaften in staubbildenden Argon-Acetylen- und Argon-Methan-Plasmen in einer kapazitiv gekoppelten GEC-Zelle bei 13,56 MHz untersucht. Dazu wurden Strom und Spannung an den Zuleitungen zu der getriebenen und geerdeten Elektrode mit Strom-Spannungs-Messsonden gemessen und mit einem mathematischen Modell in die an den Elektrodenoberflächen anliegenden Ströme und Spannungen umgerechnet. Die Änderung der Plasmacharakteristik aufgrund der Entstehung und des Wachstums der Staubpartikel wurde beobachtet und zeitaufgelöst gemessen. Die verschiedenen Staubwachstumsphasen Nukleation, Koagulation und Agglomeration sowie der α−γ′-Übergang wurden beobachtet. Die zeitliche Entwicklung von Plasmaeigenschaften wie Plasmaimpedanz oder absorbierte Leistung bei Partikelwachstum wird diskutiert.