Kiel 2004 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 10: Postersitzung: Niedertemperaturplasmen Plasmatechnologie II, Staubige Plasmen II, Magnetischer Einschluss II

P 10.2: Poster

Tuesday, March 9, 2004, 17:45–19:30, Foyer

Langmuir-Sondenmessungen in einer DC-Magnetronentladung — •Vítĕzlav Stranák ¹, Stefan Wrehde², Hartmut Steffen², Milan Tichý¹ und Rainer Hippler² — ¹Faculty of Mathematics and Physics, Department of Electronics and Vacuum Physics, Charles-University Prague, V Holesovičkách 2, 18000 Prague 8, Czech Republic — ²Institut für Physik, Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald, Domstrasse 10a, D-17489 Greifswald

In einem DC-Magnetronplasma zur reaktiven Abscheidung von TiN_x/TiO_x-Schichten wurden mit einer Langmuir-Sonde Messungen der Plasmaparameter Elektronentemperatur, Elektronendichte und Plasmapotential durchgeführt. Ihre Abhängigkeit von der Entladungsleistung, dem Inertgasdruck, der Gaszusammensetzung und dem Betriebsmodus des Magnetrons (balanced oder unbalanced) wurde untersucht. Zur räumlichen Auflösung wurde die Position der Sonde variiert.

Die mittlere Energie der Elektronen wurde aus dem Integral der zweiten Ableitung der Sondenkennline und die Elektronendichte mit Hilfe des OML-Modells im Elektronenbeschleunigungsregime (sog. I_e² über V_P - Plot) berechnet, das Plasmapotential erhält man als Nullpunkt der zweiten Ableitung.