Kiel 2004 – wissenschaftliches Programm
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P: Plasmaphysik
P 3: Postersitzung: Niedertemperaturplasmen Plasmatechnologie I, Diagnostische Methoden I
P 3.23: Poster
Montag, 8. März 2004, 17:45–19:30, Foyer
Zeitaufgelöste Diagnostik von CF2-Radikalen in C2F6/H2-Plasmen einer gepulsten RF-Entladung mittels IR-Diodenlaserspektroskopie (TDLAS) — •Onno Gabriel, Konstantin Li und Jürgen Meichsner — Institut für Physik, Domstr. 10a, 17487 Greifswald
Der Einfluß der CFx-Radikale (x=1..3), insbesondere der des CF2-Radikals auf die Beschichtungskinetik bzw. das Ätzverhalten in Fluorkohlenstoff-RF-Plasmen ist bis heute nicht vollständig verstanden.
In unserer Arbeit verwenden wir eine gepulste 13.56 MHz RF-Entladung und C2F6 mit einer Zumischung von H2 als Modellgas bei Drücken zwischen 10 und 100 Pa. Ein in situ Ellipsometer dient der Messung der Beschichtungsrate auf der RF-Elektrode und ein mit durchstimmbaren Diodenlasern arbeitendes IR-Absorptionsspektroskopie-System (TDLAS) der parallelen Messung absoluter Radikaldichten im Gasraum.
Die Zeitauflösung des TDLAS-Systems im Bereich von 1–10 ms erlaubt die Erfassung der Abklingkurven der CF2-Dichte in den Plasma-off-Phasen der gepulsten Entladung. Untersucht wird der Einfluß der Prozeßparameter Druck, Gasfluß und RF-Leistung sowie der Pulsparameter (Perdiodendauer, Puls-Pause-Verhältnis) auf die Radikalkinetik und die Beschichtungsrate.
Mittels eines einfachen kinetischen Modells werden die Verläufe der CF2-Dichte in der Plasma-off-Phase beschreiben und dadurch Bruttoratenkoeffizienten gewonnen.