Kiel 2004 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 3: Postersitzung: Niedertemperaturplasmen Plasmatechnologie I, Diagnostische Methoden I

P 3.25: Poster

Montag, 8. März 2004, 17:45–19:30, Foyer

Raum- und Zeitaufgelöste atomare Sauerstoffkonznetrationsverteilungen in einem rf-Plasma — •S. Peters, B. Krames und J. Meichsner — Institut für Physik, Universität Greifswald

In einem Niedertemperaturplasma ist der Transport ungeladener reaktiver Spezies, wie der des Sauerstoffatoms diffusionsbestimmt. Interessant sind insbesondere die elektrodennahen Gebiete der in dieser Arbeit verwendeten kapazitiv gekoppelten rf-Entladung in Sauerstoff. Hier kommt es aufgrund von Verlustprozessen an den Elektroden zu einem anisotropen Transportverhalten der Sauerstoffatome. Dies spiegelt sich in den mittels Laser-induzierter Fluoreszens Spektroskopie (TALIF) gemessenen räumlichen Konzentrationsverteilungen der O-Atome wider. Als Folge lassen sich abhängig von den Plasmaparametern und dem Elektrodenabstand die axialen Dichteverläufe über einen empirischen Ähnlichkeitsparameter beschreiben. An den Elektrodenrändern findet sich symmetrisch ein radiales Dichtemaximum, dessen Position mit steigender Selfbias-Spannung tiefer in den räumlichen Afterglow der Entladung wandert. Im zeitlichen Verlauf nach Plasmazündung (gepulster Entladungsbetrieb) kommt es ebenfalls zu einer Verschiebung dieses Maximums in Richtung Elektrodenrand. Erst ab einem zeitlichen Delay von 20 ms erreichen Erzeugungs- und Verlustprozesse ein Gleichgewicht, das eine dem cw-Betrieb vergleichbare Profilform zeigt.