Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe
P: Plasmaphysik
P 9: Diagnostische Methoden II
P 9.4: Fachvortrag
Dienstag, 9. März 2004, 16:25–16:45, H\"orsaal H
Diagnostik der Dichte metastabiler Zustände in Neon-und Argonniederdruckplasmen aus Emissionlinienverhältnissen — •M. Berger1,2, U. Fantz1 und K. Behringer1,2 — 1Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik, Institut für Physik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg — 2Max-Planck-Institut für Plasmaphysik, EURATOM Assoziation, 85748 Garching
Für das Verständnis und die Modellierung
von Plasmaprozessen ist die Kenntnis einer Vielzahl von
Kenngrößen notwendig. Daher ist es wünschenswert, die
Anzahl der durch nicht–invasive diagnostische Methoden
zugänglichen Kenngrößen zu erweitern, z.B. durch optische
Emissionsspektroskopie. Die vorgestellte Methode der Analyse von
Linienverhältnissen erlaubt Aussagen über die Besetzungen
metastabiler Zustände in Neon- und Argonniederdruckplasmen bei
bekannter EEVF. Diese sind ansonsten nur durch zusätzlichen
experimentellen Aufwand, wie z.B.
Absorptionsspektroskopie zugänglich.
Ist aus anderen Diagnostiken die Dichte metastabiler Zustände
bekannt, so erhält man Aussagen über die Form der EEVF,
beispielsweise zur Identifikation von bi–Maxwell-Verteilungen.
Die Möglichkeiten und Grenzen der Methode werden anhand von
Messungen an verschiedenen Niederdruckentladungen diskutiert.