Kiel 2004 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P XIV: HV XIV

P XIV.1: Invited Talk

Wednesday, March 10, 2004, 14:45–15:15, H\"orsaal H

Atmosphärische Plasmen zur Oberflächenmodifizierung — •Rüdiger Foest — Institut für Niedertemperatur-Plasmaphysik Greifswald, Jahnstr.19, 17489 Greifswald

Oberflächentechnologien mit Hilfe von Niedertemperaturplasmen haben im Laufe der letzten Jahrzehnte weite Verbreitung in unterschiedlichen Anwendungsbereichen gefunden. Die Ausweitung auf anisotherme Normaldruckverfahren ist wegen der Einsparung von kostspieliger Vakuumtechnik und vereinfachter Integration in technologische Abläufe sehr aktuell und wird zur Oberflächenfunktionalisierung bereits industriell genutzt. Reinigungs- und Beschichtungsprozesse befinden sich derzeit in der Entwicklung.

Es werden unterschiedliche Konfigurationen vorgestellt, wie Mikrohohlkathodenentladung, Kapillarentladung, mikrowellenangeregter Plasmajet und Koronaentladung. Den Schwerpunkt bildet die dielektrisch behinderte Entladung (DBE), insbesondere ihre homogene Form. Am Beispiel von experimentellen Untersuchungen einer 100 kHz DBE in He mit Zumischungen von Si-organischen Dämpfen wird eine Anwendung zum Zwecke des Korrosionsschutzes von Aluminiumblechen diskutiert. Abschließend erfolgt eine Gegenüberstellung der Potentiale und Chancen der verschiedenen Entladungsformen hinsichtlich der atmosphärischen Oberflächenbehandlung.