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PV: Plenarvorträge

PV VI

PV VI: Plenarvortrag

Mittwoch, 10. März 2004, 08:30–09:15, H\"orsaal G

Plasmaanwendungen — •Klaus-Dieter Weltmann — INP Greifswald, F.-L.-Jahn-Str.19, D-17489 Greifswald

Bei der Entwicklung zukunftsfähiger und umweltverträglicher Technologien spielen Nieder-temperaturplasmen eine immer größere Rolle. Entsprechende Plasmaanwendungen haben bereits in einer Reihe von Industriezweigen Eingang gefunden, wie z.B. bei der Herstellung von Lichtquellen und Displays, in Mikroelektronik und Optik, bei der Entwicklung neuer Materialien und Oberflächen, in der Schaltertechnik, aber auch in der Automobilindustrie oder der Textil- und Verpackungsindustrie. In neuen Anwendungsfeldern wie der Biomedizintechnik und der Nanotechnologie werden ebenfalls zunehmend Plasmaverfahren eingesetzt. Entsprechend des Querschnittscharakters der Plasmatechnologie müssen für eine erfolgreiche Zusammenarbeit mit der Industrie Lösungen angeboten werden, die sowohl Fragen der Plasmaerzeugung, als auch der Plasmadiagnostik und Prozess-Steuerung betreffen. In dem Übersichtsvortrag werden exemplarisch einige der etablierten und zukunftsträchtigen Plasmaanwendungen vorgestellt und mögliche Perspektiven für die Entwicklung der Plasmatechnologie in Deutschland aufgezeigt.