München 2004 – scientific programme

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Q: Quantenoptik und Photonik

Q 14: Optische Messtechnik

Q 14.2: Talk

Tuesday, March 23, 2004, 11:15–11:30, HS 204

Streulicht und Rauhigkeit von Spiegelsubstraten und dünnen dielektrischen Schichten — •G. Seewald, Ch. Scharfenorth, F. Elsholz und H.J. Eichler — TU-Berlin, Fakultät II, Optisches Institut, P1-1, Straße des 17.Juni 135, 10623 Berlin

Weitere Entwicklungen von Hochleistungslasern erfordern den Einsatz von hochwertigen Optiken mit streuarmen, d.h. glatten Oberflächen. An Substraten und dünnen dielektrischen Schichten wurden Oberflächenrauhigkeiten im Bereich von 1-10 nm auf einer Fläche von 0,5-10µm Kantenlänge mittels der Raster-Kraft-Mikroskopie (RKM) gemessen. Größere Flächen wurden durch ortsaufgelöste Streulichtmessungen charakterisiert, aus denen ebenfalls Oberflächen-Rauhigkeiten bestimmt werden können. Die Ergebnisse von RKM und Streulichtmessungen werden vergleichend diskutiert.

gefördert durch BMBF (FKz.:03C0330A)