Regensburg 2004 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 10: FV-internes Symposium „Analytische Elektronenmikroskopie an dünnen Schichten“

DS 10.1: Invited Talk

Tuesday, March 9, 2004, 09:30–10:10, HS 32

Quantitative konvergente Elektronenbeugung und ihre Anwendungen — •Joachim Mayer — Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie, RWTH Aachen, Ahornstr. 55, 52074 Aachen

Im Vortrag soll ein Überblick über die neuen Möglichkeiten der quantitativen konvergenten Elektronenbeugung (convergent beam electron diffraction, CBED) gegeben werden. Im Transmissionselektronenmikroskop werden dabei Beugungsbilder kristalliner Bereiche mit kegelförmiger Beleuchtung aufgenommen. Durch Energiefilterung lässt sich der durch inelastisch gestreute Elektronen entstehende Untergrund entfernen, was eine quantitative Auswertung mit höchster Genauigkeit ermöglicht. In den Beugungsbildern entsteht für jeden angeregten Reflex ein Beugungsscheibchen, dessen Intensitätsverteilung einem zweidimensionalen Rocking-Profil für den gegebenen Reflex entspricht. Eine quantitative Auswertung des Einflusses von Reflexen aus höheren Laue-Zonen ermöglicht die Bestimmung von Gitterverzerrungen in dünnen Schichten mit hoher Genauigkeit. Die Analyse der dynamischen Streueffekte für niedrigindizierte Reflexe erlaubt eine dreidimensionale Analyse der elektronischen Bindungsladungsdichten zwischen den Kristallatomen. Anhand verschiedener materialwissenschaftlicher Anwendungen soll das Potential der Methode veranschaulicht werden.