Regensburg 2004 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 17: Schichtherstellung II

DS 17.3: Talk

Thursday, March 11, 2004, 15:45–16:00, HS 31

Herstellung und Charakterisierung von verkippten ZnO Filmen — •Martin Peruzzi, Johannes D. Pedarnig und Dieter Bäuerle — Universität Linz, Abteilung für Angewandte Physik, Altenbergerstr. 69, A-4040 Linz

Die Methode der gepulsten Laserdeposition (PLD) erlaubt die Herstellung verschiedenster Materialen in Form dünner Filme. Darunter finden sich unter anderem Hochtemperatur-supraleiter, Halbleiter, Ferro- und Piezoelektrika, Polymer, etc. [1].

Im Vortrag wird die Herstellung von dünnen ZnO Filmen mit unterschiedlicher kristallographischer Orientierung auf SrTiO3 Substraten vorgestellt. ZnO zeichnet sich vor allem durch seine piezoelektrischen Eigenschaften aus und wird unter anderem als Transducer-Material in der Sensorik und für HF-Filter eingesetzt. Verschiedene Schwingungsmoden können angeregt werden, abhängig von der ZnO Kristallorientierung und der Elektrodenstruktur. Mit der PLD-Methode ist es gelungen, dünne ZnO Filme mit unterschiedlicher kristallographischer Orientierung der Einheitszelle relativ zum Substrat herzustellen. XRD und TEM Analysen bestätigen ein verkipptes Wachstum von ZnO und sehr gute epitaktische Eigenschaften. Der Einfluss der Herstellungsparameter auf das verkippte Wachstum der verkippten Filme wird diskutiert.

[1] Bäuerle D.: Laser Processing and Chemistry 3rd ed. (Springer, Berlin, Heidelberg 2000)