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DS: Dünne Schichten

DS 18: Schichtherstellung III

DS 18.4: Vortrag

Donnerstag, 11. März 2004, 17:30–17:45, HS 31

Elektrodeposition von Co unter dem Einfluss äußerer Magnetfelder — •Andreas Krause, Margitta Uhlemann, Annett Gebert und Ludwig Schultz — Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden, PF 270116, 01171 Dresden, Deutschland

Durch Überlagerung von äußeren Magnetfeldern während des elektrochemischen Abscheideprozesses können der Mechanismus der Abscheidung und damit die Struktur und die Eigenschaften der abgeschiedenen Schichten gezielt verändert werden. In der Arbeit wird der Einfluss von homogenen Magnetfeldern in Abhängigkeit von Stärke und Orientierung auf die elektrochemische Abscheidung von Co untersucht. Eine Erhöhung der Abscheiderate wird durch Konvektion in der Nähe der Elektroden-oberfläche durch die Wirkung von Lorentzkräften erreicht, wenn das magnetische Feld parallel zur Oberfläche ausgerichtet ist. Eine Überlagerung der magnetisch induzierten konvektiven Effekte mit der natürlichen Konvektion wird dabei berücksichtigt. Neben der Abscheidung von Co findet gleichzeitig die Wasserstoffreduktion statt. Bei negativen Abscheidepotentialen wird die Ausbeute von Co erhöht und die Wasserstoffabscheidung zurückgedrängt. Die Morphologie und Struktur der Schichten wird dadurch verbessert. Die Wirkung paramagnetischer Kräfte auf die einzelnen Teilschritte des elektrochemischen Prozesses wird diskutiert.